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    S-920-C

    發布時間:2017-06-29 11:05:33

       


       特點和優勢

      100級潔凈室標準經過第三方認證

        不銹鋼外殼上的鈍化表面處理方便清理

        高靈活性電纜包裹在潔凈室認證的外殼內,把微粒和排氣降至最低

        軟件控制的特性可以提高良率,最大程度減少人為干擾

        靈活的加熱區數量以及可選的過程控制加熱(CpH)使工藝時間最小化

        可以選配薄膜框架和裸晶圓運輸裝置,用于集成材料裝卸功能。

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          潔凈室標準 可升級 Spectrum? S-920N-C潔凈室系列是專為 100級潔凈室環境設計的,適用于容易被次微米級粒子污染影響的應用,如晶圓級封裝。 S-920N-C系統裝備了不銹鋼外殼。高靈活性電纜包裹在潔凈室認證的外殼內,把微粒和排氣降至最低。ULPA       過濾器在點膠區域內形成一個向下的無微粒的空氣柱。所有氣動閥門都向一個排氣管排放,和真空泵房連接,防止向潔凈室中噴入微粒。


         可升級性 憑借其靈活、可升級的特性,S-920N-C可以配置單軌或雙軌,雙軌設置中更可多達 6個加熱平臺。當工藝需要改變時,平臺可以輕松升級。S-920N-C最大程度利用了廠區空間——它只有600毫米寬(不考慮新增的前加熱或后加熱工作臺),這幾乎是        市場上其它點膠機寬度的一半。


         先進工藝控制  S-920N-C減少了工藝變量,提高了產能,同時減少了成本。軟件控制的溫度、膠量和氣壓提供了閉環控制,減少了操作員的手動調節。工藝校準噴射(CPJ)可以在長時間的生產流程中確保膠量的可重復性。過程加熱控制器(CpH ?)帶來了可編程      控制的熱管理,提高了熱效率。Spectrum的數字視覺識別系統和雙色、可調節同軸照明系統,為高產能帶來快速、可靠的圖像捕捉。添加 Fids-on-the-Fly?選件可以加速基準點捕捉,而激光高度感應器則能進一步縮短在非點膠操作上的耗時。


         噴射技術 專利型非接觸式噴射點膠與傳統的針頭式點膠相比有很多優點。DispenseJet ?  噴射點膠閥使用專利的高速機械裝置,將精確劑量的膠粘劑以點、線和圖型的方式噴射出,其最高流速可達每秒 500毫克和每秒 200點。價值  Nordson ASYMTEK 憑借其      超過 25年在自動點膠和噴射技術方面的經驗,來設計和生產點膠和涂覆系統的全產線。Nordson ASYMTEK在創新、全面工藝解決方案上的優勢保證了投資的最大回報和最低的擁有成本。從最初工藝開發到全面生產,用戶將始終得到我們全球范圍內工程經驗、      應用開發和技術服務網絡的支持。


         標準特性

         校準模塊:專利型流量控制模塊,和帶自動設置的

         天平、真空清理和基準點標示

         CPJ –工藝校準噴射

         數字視覺識別系統

         ULPA過濾器

         激光高度感應器

         帶報警器的信號燈

         低壓力感應器

         可編程控制的膠體和閥門壓力

         接觸式高度感應器

         通風排氣系統

         前面板的 USB插口


         可選特性

         CpH? - 過程控制加熱

         接觸式加熱器

         雙軌配置 – 型號 S-922N-C

         雙閥:雙動作(兩個點膠閥獨立運作);同步雙動作(兩個點膠閥在一個同步頭上)

         外置大容量儲膠罐:600毫升(20盎司),含遠程進膠、膠粘劑液位感應器Fids-on-the-Fly?基準點高速識別系統低膠量感應器(磁感應或電容式)

         材料輸送:裸晶圓

         前加熱和后加熱平臺

         工藝開發熱板(僅限單軌系統)

         SECS/GEM 接口


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         Spectrum S-920N-C系列產品將有效降低擁有成本:

         更小的占地面積

         流量監測可減少材料的浪費,提高工藝良率

         使用軟件控制噴射/針頭加熱器以實現精密溫度控制

         快速非接觸式噴射點膠將減少針頭式點膠中出現的良率損失

         雙軌配置(S-922N-C)可實現更高產能,或者無需抽屜就可以為雙軌貼裝系統進料


         提高產能和工藝控制的關鍵特性

         100  級 潔凈室 認證:

         S-920N-C系統適用于容易被次微米級粒子污染影響的晶圓級噴射應用。不銹鋼外殼帶有鈍化表面處理,方便擦拭,前面板的 USB接口可以方便上傳程序和日志文件。對全自動工藝,可選擇帶 CHAD裸晶圓傳送器的立式工作臺配置。

      

      可編程膠量和閥門壓力:

      膠量和閥門壓力可以在 FmXP軟件中設定,減少了運行中人工操作可能的錯誤。軟件控制的壓力設定點提供了閉環式工藝控制,日志       文件則提供了更好的可追溯性。

      電控氣壓調節閥控制點膠頭壓力,膠水壓力和冷卻/輔助壓力。壓力值可以在 FmXP軟件中設定,并在計算機屏幕中直接監測。因此   在   前控制面板中移除了相關的手動調節器。完整的參數設置(包括傳送帶、加熱器和氣壓設置)可以輕松復制到廠區內甚至世界其它地方   的 S-920N系統中。

      

      Fids-on-the-Fly?:

      Fids-on-the-Fly 選件比傳統的停留-抓取方法快了 5.5倍,單位產能(UPH)提高 35% 。


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         創新設計和客戶定制化解決方案

         Nordson ASYMTEK設計和生產的設備為全球客戶帶去創新的點膠解決方案。除了標準產品,我們極富經驗的工程師們還可為客戶定制點膠方案,解決客戶獨特的應用要求。Nordson ASYMTEK在膠體輸       出、材料運輸、工廠特定批次管理和控制、視圖和照明系統,以及軟件接口和控制的定制化解決方案開發上有著豐富的經驗。我們的目標是提高您的產能和良率,并最終降低設備擁有成本。



         運動系統

         X-Y 精度: ±0.050 毫米 (0.002 英寸), 3 sigma

         Z軸可重復性: ±0.025 毫米 (0.001 英寸)

         X-Y可重復性: ±0.025 毫米 (0.001 英寸)

         X-Y 加速度: 1 g 最高

         X-Y 速度: 1 米/秒最高 (40 英寸/秒)


         視圖和照明

         攝像頭像素: 640 x 480

         可視區域: 7.0 x 5.0 毫米 (0.28 x 0.20 英寸)

         照明: 紅綠 LED,每種顏色有 255級


         計算機

         Windows操作系統的筆記本電腦


         軟件

         Fluidmove ? for Windows


         膠體輸出方式

         支持所有 Nordson ASYMTEK的噴射閥、壓電驅動閥、編碼螺旋泵、滑閥和壓力-時間閥??砂匆筇峁┘商准?。


         點膠區域(X-Y )

         339 x 410 毫米 (13.3 x 16.1 英寸)


         傳送系統

         基板/載體最大長度:一個工作臺: 340 毫米 (13.4 英寸)

         三個工作臺: 320 毫米 (12.6 英寸)

         基板/載體最小長度: 25 毫米 (1.0 英寸)

         基板/載具最大寬度 (1) :單軌: 535 毫米 (21.1 英寸)

         雙軌: 最大至 228 毫米 (9.0 英寸) ( 配置可變 )

         基板/載體最小寬度 (2) : 34 毫米 (1.3 英寸)

         基板/載體最大厚度: 12 毫米 (0.5 英寸)

         最大板頂部間隙: 30 毫米 (1.2 英寸)

         基板下方間隙: 4.5 毫米 (0.18 英寸) @ 從邊緣 4 到 5.75 毫米(0.16 到 0.23 英寸); 從邊緣 55 毫米 (2.17 英寸)低于 5.75 毫米 (0.23 英寸)

         晶圓:  框架或裸晶圓尺寸最大可達 300毫米(12 英寸)

         運送高度: 與 SMEMA的傳送裝置高度標準一致;地面到元件底部之間的高度可調范圍為 913-965毫米 (35.9 - 38.0 英寸)

         邊緣間隙: 6 毫米 (0.24 英寸)包括夾具;5 毫米 (0.20 英寸) 可按要求提供

         最大載荷 (3) : 2 千克 (4.4 磅)

         操作方式: 自動(SMEMA),手工,傳遞式

         傳送帶類型:防靜電 O型圈,防靜電高溫 6毫米平皮帶,防靜電高溫 4毫米平皮帶


         廠區要求

         系統占地:  單加熱平臺:600毫米寬 x 1321 毫米    深 (23.6 x 52.0 英寸)

         雙加熱平臺:850 x 1321 毫米 (33.5 x52.0 英寸)

         三加熱平臺:1100 x 1321 毫米 (43.3 x52.0 英寸)

         空氣供應 (4) : 雙壓縮空氣供應,需要 1個 3 CFM @100 psi壓縮空氣供應接觸式加熱選件以及另一個 1 CFM @ 100 psi壓縮空氣供應系統的其余部分 (100 psi = 689 kPa, 6.8 atm)

         電源(主): 相應的電源供應,建議 200-240 伏交流電,47-63 Hz 單相, 10 A

         通風 (5) :  向下或向上排風

         真空要求: 24 英寸 HG(600 Torr) Ga, 15 SCFM

         系統重量 (6) : 377 - 422 千克 (830-930磅) 


         (1) 為實現雙軌寬度的最大化,設置軌道 1-3 的間距為 300mm ,軌道 2-4 的間距為 299mm 。

         (2)  更小尺寸的基板或載具請和工廠聯系。

         (3)  所有在傳送裝置上的部件在任意時間內的總重量。如要求更高的裝載量,請與工廠聯系。

         (4)  使用常規非接觸式加熱器:需 1 個 9 CFM @ 100 psi 壓縮空氣供應非接觸空氣以及另一個 1 CFM @ 100 psi 壓縮空氣供應系統的其余部分。

         使用高流速非接觸式加熱器:需 1 個 14 CFM @ 100 psi 壓縮空氣供應非接觸空氣以及另一個 1 CFM @ 100 psi 壓縮空氣供應系統的其余部分。

         (5)  對于非接觸式加熱應用,從 6 英寸排風口可能需要達到 100cfm的通風速度。具體請聯系工廠。

         (6)  系統重量會因為配置不同而有所變化。


         兼容標準

         SEMI-S2; SEMI-S8; SMEMA; CE; FED STD 209E,

         Class 100, ISO 14644-1, Class 5

         (請聯系工廠獲得測試數據)


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